工业高纯水设备是在工业纯水设备的基础上，加上混床、EDI或是二级反渗透等后处理工艺制得的，使得出水水质在15—18兆欧左右的制备系统。工业高纯水设备被广泛用于环保电子、光学光电、核电、太阳能光伏、化工等行业。目前常用的性能稳定、绿色环保的高纯水制备系统是EDI(连续电除盐技术)。
工业高纯水设备一般由三部分组成：前处理系统、反渗透系统、后处理系统。前处理系统包括常见的石英砂过滤器、活性炭过滤器、加药装置和保安过滤器等;反渗透系统包括反渗透膜、反渗透机架和高压泵等;后处理系统包括混床/二级反渗透/EDI、紫外线杀菌器、精混等。不同工艺和配置的高纯水系统价格相差甚远，中采用反渗透+混床属于传统工艺，反渗透+EDI属于现代工艺，而双极反渗透则介于两者之间。反渗透+混床工艺造价相对较低，但需要经常对混床再生，再生过程排放的酸碱废水可能对环境造成二次污染，且再生程序较为复杂，需要专业人员操作，耗时较长。反渗透+EDI工艺无需酸碱再生，不会造成二次污染，绿色环保，能够24小时连续运行且可实现全自动操作，但造价相对较高。双极反渗透工艺介于两者之间，设备占地面积大，更换耗材时成本相对较高，且需要经常对反渗透膜进行清洗。在选择高纯水设备时建议顾客量体裁衣，根据自己的预算结合实际用水需要有针对性的挑选高纯水工艺。